目前工業(yè)生產(chǎn)中使用的氮化方法有三種，即液體氮化、氣體氮化和離子氮化，三種氮化方法之間具有互補(bǔ)性。

隨著人們環(huán)保意識(shí)的加強(qiáng)，一系列環(huán)保法律法規(guī)相繼出臺(tái)，液體氮化和氣體氮化因污染問題已不為都市工業(yè)所接受，相繼從都市工業(yè)中退出。如上海市除真空熱處理、感應(yīng)熱處理和離子滲氮工藝可繼續(xù)留在市內(nèi)從事生產(chǎn)外，其他熱處理工藝生產(chǎn)都已搬出市區(qū)，另求生存之道。

除上述突出弊端外，液體氮化因受設(shè)備容量限制，對(duì)大型零件的氮化也顯得無能為力，而且零件經(jīng)液體氮化后，表面疏松較嚴(yán)重，更限制了其應(yīng)用范圍。但客觀地將，液體氮化對(duì)某些材質(zhì)的小工件氮化仍具有其獨(dú)到之處。

氣體氮化因工藝周期長（如氮化層深度要求為0.6mm時(shí)，其保溫時(shí)間可長達(dá)90小時(shí)）、氨氣消耗量大、能源消耗多、生產(chǎn)成本高，廢氣、廢水難以處理，其應(yīng)用范圍也正在逐步縮小。與上述兩種氮化方法相比，離子氮化法具有以下一些優(yōu)點(diǎn)：

①由于離子氮化法不是依靠化學(xué)反應(yīng)作用，而是利用離子化了的含氮?dú)怏w進(jìn)行氮化處理，所以工作環(huán)境十分清潔而無需防止公害的特別設(shè)備。

②由于離子氮化法利用了離子化了的氣體的濺射作用，因而與以往的氮化處理相比可顯著的縮短處理時(shí)間（離子滲氮的時(shí)間僅為普通氣體滲氮時(shí)間的1/3—1/5）。

③由于離子氮化法利用輝光放電直接進(jìn)行加熱，也無需特別的加熱和保溫設(shè)備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式相比加熱效率可提高2倍以上，達(dá)到節(jié)能效果（能源消耗僅為氣體滲氮的40—70％）。

④由于離子氮化是在真空中進(jìn)行，因而可獲得無氧化的加工表面也不損害被處理工件的表面光潔度。而且由于是在低溫下進(jìn)行處理，被處理工件的變形量極小，處理后無需再行加工，極適合于成品的處理。

⑤通過調(diào)節(jié)N、H和其他組份等氣體的比例，可自由地調(diào)節(jié)化合物層的相組成，從而獲得預(yù)期的機(jī)械性能。

⑥離子氮化從380℃起即可進(jìn)行氮化處理，此外，對(duì)鈦等特殊材料也可在850℃的高溫下進(jìn)行氮化處理，因而適應(yīng)范圍十分廣泛。

⑦由于離子氮化是在低氣壓下以離子注入的方式進(jìn)行，因而耗氣量極少（僅為氣體滲氮的百分之幾），可大大降低處理成本。