碳氮共滲常用的共滲溫度為820～880℃（低碳鋼及低合金鋼為840～860℃）。碳氮共滲后的熱處理常用以下幾種工藝方法。

(1)直接淬火+低溫回火

1)工藝特點。碳氮共滲后由共滲溫度(820～860℃)直接淬火，然后進行低溫回火160～200℃×2～3h。

2)工藝適用范圍。工藝簡單適用于中、低碳鋼及低合金鋼，可獲得滿意的表面及心部組織。一般選擇油淬（或水淬）。

(2)分級淬火+低溫回火

1)工藝特點。碳氮共滲后由共滲溫度820～860℃直接在110～200℃熱油或堿浴中分級淬火1～15min后空冷，再進行160～200℃低溫回火。

2)工藝適用范圍。工件變形小，適用于尺寸要求較嚴格的合金鋼件。

(3)有次加熱淬火+低溫回火

1)工藝特點。碳氮共滲后空冷或在冷卻坑中緩冷，然后重新加熱淬火+低溫回火熱處理。

2)工藝適用范圍。適用于共滲后需機械加工或因各種原因不宜直接淬火的工件。