離子滲氮由于滲氮速度快、生產(chǎn)周期短、變形小、局部滲氮方便，可進(jìn)行低溫滲氮，節(jié)電、生產(chǎn)成本低。自七十年代中期以來(lái)已較廣泛應(yīng)用在機(jī)床制造、交通運(yùn)輸機(jī)械、輕工機(jī)械和醫(yī)療器械等方面的中小負(fù)荷，高精度、少磨削的耐磨損、耐疲勞零件。

離子滲氮是將待處理的零件放在真空容器中，并充以1-10托低壓的含氮?dú)怏w，以零件為陰極，真空容器的罩壁作為陽(yáng)極，或在容器內(nèi)另設(shè)金屬陽(yáng)極。當(dāng)在陰陽(yáng)極之間加上數(shù)百伏直流電壓時(shí)，兩極間的稀薄氣體被電離，從而產(chǎn)生輝光放電。與氣體滲氮相比，離子滲氮具有很多優(yōu)點(diǎn)，主要表現(xiàn)在：1.滲氮速度快。離子滲氮可以大大縮短滲氮時(shí)間，特別是淺層滲氮時(shí)其效果更為明顯，例如滲層深度在0.3-0.5mm時(shí)，離子滲氮所需的時(shí)間僅為普通氣體滲氮時(shí)間的1/3-1/5。2.滲層組織易于控制、脆性小。離子氮化可以通過(guò)控制氣氛中氮和碳的含量比，或N2和H2的比例，可以獲得脆性較小的單相層，也可以得到韌性更優(yōu)的無(wú)化合物層而僅有擴(kuò)散層的滲氮層，這樣可以不需要磨削直接裝機(jī)使用。3.工件變形小。離子滲氮滲速快，又可以在更低的溫度下進(jìn)行，同時(shí)因?yàn)殛帢O濺射作用，所以變形量比氣體滲氮要小。4.節(jié)能、省氣。5.無(wú)毒、無(wú)臭、無(wú)公害。6.適宜于不銹鋼的滲氮。

幾年來(lái),青島豐東離子氮化在合金鋼、工模具鋼、不銹鋼、鑄鐵、鈦合金等方面的技術(shù)不斷成熟。