在離子滲氮實踐中，通常進行控制的參數(shù)有六個，即氣體組分、氣體總壓力（也稱真空度）、電流、電壓、滲氮溫度和滲氮時間，簡稱為“六大工藝參數(shù)”。

（一）  氣體組分

目前常用于離子滲氮的介質有NH3、熱分解氨、N2+H2等三種，在此基礎上，再加入少量乙醇、丙酮、二氧化碳、甲烷等作為碳的來源，即可實現(xiàn)離子軟氮化工藝。氨氣價格低廉、來源廣泛、使用方便，已經成為使用最廣泛的離子滲氮介質。但是使用氨氣存在以下缺點:氮勢不易控制，因此直接用氨氣進行離子氮化（或軟氮化）無法控制滲層組織。并且滲層存在一定得脆性。N2+H2的混合氣也在實踐中廣泛應用:H2作為稀釋氣體加入，可以大大降低滲氮反應的活化能，氫氣還起到還原零件表面氧化物的作用，以獲得活性的表面，降低了對設備漏氣率的要求，通過控制滲氮氣氛的氮勢，容易控制滲氮層的組織。

（二）  滲氮溫度

滲氮溫度是離子滲氮極為重要的工藝參數(shù)，生產上通常使用的滲氮溫度范圍為450-650℃。滲氮溫度低對結構鋼而言能得到較高的滲層硬度、保持較高的心部強度、減少工件變形，但滲層較淺；580℃以上溫度的離子滲氮一般只用于高合金不銹鋼和含鈦、釩的快速氮化鋼，為了提高滲速、縮短生產周期，這類材料采用較高的氮化溫度。

（三）  氣體總壓力

離子滲氮時，氣體壓力（真空度）影響輝光放電特性，氣壓高時，輝光收縮集中；氣壓低時，輝光漫散。離子滲氮的工作氣壓范圍一般為100-1200Pa,生產中常用的氣壓范圍是200-600Pa。

（四）  滲氮時間

滲氮時間的長短主要根據(jù)工件材料及工件所要求的滲層深度和滲氮溫度而定，短則幾分鐘，長則幾十小時。一般認為，擴散層深度與時間服從拋物線關系?；衔锏暮穸扰c時間的關系分為兩段，氮化初期，兩者間成直線關系，而后兩者間呈拋物線關系。離子滲氮初期氮的滲入速度最快，所以滲層深度要求0.2-0.3mm以下的零件，離子滲氮保溫時間只需6-12小時，因此，單純從經濟角度看，這一滲層深度是最為合理的。

（五）  電參數(shù)（電流和電壓）

離子滲氮時電壓和電流密度的大小主要取決于滲氮溫度、氣壓、陰陽極距離等。

電壓直接決定著陰極濺射強度，兩極間電壓越高，離子能量越大，陰極濺射越強烈。因此，電壓對化合物層相結構，零件尺寸的膨脹量產生一定得影響。

實驗表明，輝光電流密度在0.5-20mA/cm2范圍內改變時對滲層的硬度和深度沒有明顯的影響。

綜上所述，六大工藝參數(shù)對滲氮過程及滲層組織性能均有不同程度的影響，生產實踐中，具體的工藝參數(shù)應根據(jù)零件的材質和具體使用要求而定。